Up to 3 active vacuum gauge heads and five valves in total can be connected.
In addition the VACVISION offers the possibility of connecting venting facility, seal gas, heaters and cooling at the turbomolecular pump.
The controlling functions include predefined, configurable process set-ups.
www.oerlikon.comBis zu drei aktive Messröhren sowie insgesamt fünf Ventile können angeschlossen werden.
Im Einzelnen bietet das VACVISION die Möglichkeit des Anschlusses von Belüftung, Sperrgas, Heizung und Kühlung an der Turbo-Molekularpumpe.
Die Steuerungsfunktionen beinhalten vordefinierte, konfigurierbare Prozessaufbauten.
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