L. Wilken
Our research in GD-OES in the last years focused on further development of radio frequency (RF) powered glow discharges in order to analyze non-conductive materials or non-conductive layers.
Within a BMBF project in cooperation with LECO INSTRUMENTE GMBH a free running rf generator was developed [1].
www.ifw-dresden.deDr. V. Hoffmann, Dr. L. Wilken
Das Hauptziel der GD-OES Forschung der letzten Jahre war die Weiterentwicklung der mit Hochfrequenz (HF bzw. RF) betriebenen Glimmentladung zur Analyse nichtleitender Materialien oder Schichten.
Im Rahmen eines BMBF-Projektes wurde gemeinsam mit der Firma LECO freischwingender HF-Röhrengenerator entwickelt [1].
www.ifw-dresden.deDespite such energy loss mechanisms sufficient ions do get accelerated to kinetic energy levels over ~ 15 keV where fusion collisions can occur.
The greater the applied voltage on the glow discharge, the greater is the probability of a fusion collision.
With sufficient numbers of ions, charge space effects can have an influence on the ion trajectories in the central volume.
nsd-fusion.comTrotz solcher Energieverlustmechanismen werden genügend Ionen zu kinetischen Energieniveaus über ~ 15 keV beschleunigt, wobei Fusionskollisionen passieren können.
Je höher die angelegte Spannung an die Glimmentladung ist, desto höher ist die Wahrscheinlichkeit einer Fusionskollision.
Mit einer genügenden Anzahl an Ionen können Ladungswolken einen Einfluss auf Ionenbahnen in der zentralen Reaktionskammer haben.
nsd-fusion.compicture
The process is based on a glow discharge (plasma) in a vacuum reactor which is filled with the reaction gas at a low pressure of a few millibars.
The item to be treated (film, membrane, non-woven or textile) is located on one of the two electrodes, onto which a radio-frequency electrical power is applied in order to produce the plasma.
www-alt.igb.fraunhofer.deschematische Darstellung des Plasmareaktors
Das Verfahren basiert auf einer Glimmentladung (Plasma) in einem mit dem Reaktionsgas gefüllten Vakuumbehälter bei stark vermindertem Druck von wenigen Millibar.
Das Behandlungsgut (Folie, Membran, Vlies oder Textil) befindet sich auf einer der beiden Elektroden, über die hochfrequente elektrische Energie zur Erzeugung des Plasmas eingebracht wird.
www-alt.igb.fraunhofer.deFor this purpose such protective layers have to be produced but also analyzed.
Detailed analyses of production and efficiency of SiNx-layers ( produced via glow discharge on various semiconductors ) have been carried out.
Furthermore also CNx- and SiC-layers shall be produced.
www.helmholtz-berlin.deZu diesem Zweck müssen solche Schutzschichten nicht nur hergestellt aber auch analysiert werden.
Detaillierte Untersuchungen zur Herstellung und Wirkung von SiNx Schichten ( hergestellt durch Glimmentladung auf verschiedenen Halbleitern ) sind durchgeführt worden.
Weiterhin sollen auch CNx und SiC hergestellt werden und auch Sputter-Methoden zur Herstellung der Schichten zum Einsatz kommen.
www.helmholtz-berlin.de¿Quieres añadir alguna palabra, frase o traducción?
Proponnos una nueva entrada.