Traducciones de „Fotolithografie“ en el diccionario griego » alemán

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φωτολιθογραφία

Fotolithografie f

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alemán

Die Fotolithografie (u. a. in der Mikroelektronik- und Leiterplattenfertigung) nutzt Vernetzungsreaktionen (Positivlack) oder Zersetzungsreaktionen (Negativlack), die durch Ultraviolett-, Röntgen-, Ionen- oder Betastrahlung hervorgerufen werden.

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Zur Fokussierung einer Punktlichtquelle in einem zweiten Punkt muss die Spiegelfläche die Form eines Ellipsoids haben (Beispiel: Lichtquellen mit Höchstdruck-Quecksilberdampflampen für die Fotolithografie).

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Die Elektronenstrahllithografie wird auch in der Großserienproduktion als Nachfolgeverfahren für heutige (Stand 2011) Fotolithografie auf Basis von Excimerlasern gehandelt.

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Meist wird zur Definition von Strukturen der Mikrotechnik die Fotolithografie verwandt.

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Wesentliche Herausforderungen bei der Technologieentwicklung der 157-nm-Fotolithografie waren unter anderem die Suche nach neuen Fotolacken und Linsenmaterialien.

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Seit der Anfangsphase der Mikroelektronik erfolgt diese Strukturierung mithilfe der (optischen) Fotolithografie.

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Praktische Bedeutung haben Excimerlaser, die im ultravioletten Spektralbereich emittieren, in der Medizintechnik und in der Fotolithografie (einem Bereich der Halbleiterherstellung) erlangt.

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Weitere Anwendungen sind die Desinfektion (Trinkwasser) und die Fotolithografie.

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Ein weiterer Anwendungsbereich von Siliciumdioxid (sowohl Quarz als auch spezielle Gläser) ist die Fotolithografie, wo es als Trägermaterial für Masken eingesetzt wird.

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Solche Anwendung ist die Fotolithografie oder die Aufbereitung hochreinen Wassers, wobei UV zur Oxidation der gelösten organischen Kohlenstoffverbindungen genutzt wird.

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