Definiciones de „Ätzgas“ en el Ortografía alemana

das Ạ̈tz·gas

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alemán

Neuerdings werden auch Ätzgase verwendet, die Sauerstoff als Molekülanteil enthalten.

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Als Ätzgas verwendet man entweder bevorzugt unverdünntes Fluor oder Fluor-Edelgas-Gemische.

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Als Anhaltspunkt kann hier z. B. die Ioniersierungsenergie des Ätzgases dienen.

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Oft werden Ätzgasen einige Prozent Sauerstoff beigemischt, um die Ätzrate zu steigern.

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Im Unterschied zu allen anderen Ätzgasen ist Fluor kein Treibhausgas.

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Auch hier hängt die emittierte Frequenz von der Natur des Ätzgases ab.

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Wichtigstes Kriterium bei der Auswahl des Ätzgases ist seine Fähigkeit, mit dem zu ätzenden Feststoff ein leicht flüchtiges Reaktionsprodukt zu bilden.

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Welche Spezies in welcher Konzentration auftreten, hängt von der chemischen Natur des Ätzgases ab.

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Perfluorpolyether sind sehr reaktionsträge und erlauben den Einsatz als Schmierstoffe in Pumpen welche in der Halbleiterindustrie chemisch aggressive Ätzgase fördern oder aufgrund des niedrigen Dampfdrucks bei Hochvakuumpumpen.

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Wird beispielsweise die Polymerschicht zu dick aufgetragen, wird ein Großteil des Ätzgases und der Prozesszeit für den Abtrag des Polymers am Grabenboden verwendet, was zu höheren Prozesskosten führt.

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